Jauge d'épaisseur et de densité surfacique intégrée CDM

Applications

Processus de revêtement : détection en ligne des petites caractéristiques de l'électrode ; petites caractéristiques courantes de l'électrode : manque de lumière (pas de fuite du collecteur de courant, petite différence de gris avec la zone de revêtement normale, échec de l'identification CCD), rayure, contour d'épaisseur de la zone d'amincissement, détection d'épaisseur AT9, etc.

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Principes de mesure

Principes de mesure de la densité surfacique

Méthode d'absorption des rayons X/β

Principes de mesure de l'épaisseur

Corrélation et triangulation laser

Caractéristiques des tests techniques du CDM

Scénario 1 : La surface de l'électrode présente un manque de 2 mm de large et un bord est plus épais (ligne bleue, comme illustré ci-dessous). Lorsque le point de rayonnement atteint 40 mm, l'impact de la forme des données d'origine mesurées (ligne orange, comme illustré ci-dessous) semble nettement plus faible.

Scénario 2 : données de profil de la zone d'amincissement dynamique, largeur de données de 0,1 mm

Fonctionnalités du logiciel

Paramètres techniques

Nom	Index
Vitesse de numérisation	0-18 m/min
Fréquence d'échantillonnage	Densité de surface : 200 kHz ; épaisseur : 50 kHz
Plage de mesure de la densité de surface	Densité surfacique : 10~1000 g/m² ; épaisseur : 0~3000 μm ;
Répétition des mesures précision	Densité surfacique : Intégrale 16s : ±2σ : ≤±valeur vraie * 0,2‰ ou ±0,06 g/m² ; ±3σ : ≤± valeur vraie * 0,25‰ ou +0,08 g/m² ; Intégrale 4s : ±2σ : ≤±valeur vraie * 0,4‰ ou ±0,12 g/m² ; ±3σ : ≤±valeur vraie * 0,6‰ ou ±0,18 g/m² ;Épaisseur: Zone de 10 mm : ± 3σ : ≤ ± 0,3 μm ; Zone de 1 mm : ±3σ : ≤±0,5 μm ; Zone de 0,1 mm : ±3σ : ≤±0,8 μm ;
Corrélation R2	Densité de surface > 99 % ; épaisseur > 98 % ;
Point laser	25*1400μm
Classe de radioprotection	Norme nationale de sécurité GB 18871-2002 (exemption de rayonnement)
Durée de vie des substances radioactives source	Rayons β : 10,7 ans (demi-vie du Kr85) ; rayons X : > 5 ans
Temps de réponse de la mesure	Densité de surface < 1 ms ; épaisseur < 0,1 ms ;
Puissance globale	<3 kW