Jauge de mesure de densité surfacique Super X-Ray
Principes de mesure
Lorsque le rayon irradie l'électrode, le rayon sera absorbé, réfléchi et diffusé par l'électrode, ce qui entraînera une certaine atténuation de l'intensité du rayon après l'électrode transmise par rapport à l'intensité du rayon incident, et son rapport d'atténuation est négativement exponentiel avec le poids ou la densité surfacique de l'électrode.
I=I_0 e^−λm⇒m= 1/λln(I_0/I)
I_0 : Intensité initiale du rayon
I : Intensité du rayon après électrode de transmission
λ : Coefficient d'absorption de l'objet mesuré
m : Épaisseur/densité surfacique de l'objet mesuré
Points forts de l'équipement
Comparaison des mesures des capteurs à semi-conducteurs et des capteurs laser
● Mesure des contours et des caractéristiques détaillés : mesure de la densité surfacique des contours avec une résolution spatiale millimétrique à grande vitesse et haute précision (60 m/min)
● Mesure ultra-largeur : adaptable à plus de 1600 mm de largeur de revêtement.
● Numérisation ultra-rapide : vitesse de numérisation réglable de 0 à 60 m/min.
● Détecteur de rayons semi-conducteur innovant pour la mesure des électrodes : réponse 10 fois plus rapide que les solutions traditionnelles.
● Entraîné par un moteur linéaire à haute vitesse et haute précision : la vitesse de numérisation est augmentée de 3 à 4 fois par rapport aux solutions traditionnelles.
● Circuits de mesure haute vitesse auto-développés : la fréquence d'échantillonnage peut atteindre 200 kHz, améliorant l'efficacité et la précision du revêtement en boucle fermée.
● Calcul de la perte de capacité d'amincissement : la largeur du spot peut atteindre 1 mm. Il permet de mesurer avec précision des caractéristiques détaillées telles que les contours des zones d'amincissement des bords et les rayures sur le revêtement de l'électrode.
Interface logicielle
Affichage personnalisable de l'interface principale du système de mesure
● Détermination de la zone d'éclaircie
● Détermination de la capacité
● Détermination des rayures
Paramètres techniques
| Article | Paramètre |
| Radioprotection | La dose de rayonnement à 100 mm de la surface de l'équipement est inférieure à 1 μsv/h |
| Vitesse de numérisation | 0-60 m/min réglable |
| Fréquence d'échantillonnage | 200 kHz |
| Temps de réponse | ＜0,1 ms |
| Plage de mesure | 10-1000 g/㎡ |
| Largeur du spot | 1 mm, 3 mm, 6 mm en option |
| Précision de mesure | P/T ≤ 10 %Intégrale en 16 secondes : ±2σ : ≤± valeur vraie × 0,2 ‰ ou ± 0,06 g/㎡ ; ±3σ : ≤± valeur vraie × 0,25 ‰ ou ± 0,08 g/㎡ ;Intégrale en 4 secondes : ±2σ : ≤± valeur vraie × 0,4 ‰ ou ± 0,12 g/㎡ ; ±3σ : ≤± valeur vraie × 0,6 ‰ ou ± 0,18 g/㎡ ; |
