jauge d'épaisseur par interférométrie optique
Utilisé dans le processus de collage, cet équipement peut être placé derrière le bac de collage et devant le four, pour la mesure en ligne de l'épaisseur du collage et de l'épaisseur du revêtement du film de démoulage, avec une précision extrêmement élevée et de nombreuses applications, en particulier adapté à la mesure de l'épaisseur d'objets multicouches transparents avec une épaisseur requise jusqu'au niveau nanométrique.
Performances/paramètres du produit
Plage de mesure : 0,1 μm à 100 μm
Précision de mesure : 0,4 %
Répétabilité des mesures : ±0,4 nm (3σ)
Gamme de longueurs d'onde : 380 nm ~ 1100 nm
Temps de réponse : 5 à 500 ms
Zone de mesure : 1 mm ~ 30 mm
Répétabilité de la mesure par balayage dynamique : 10 nm
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